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洁净室的级别根据空气中悬浮粒子浓度进行严格划分,主要依据 国际标准(ISO 14644-1) 和 行业特定标准(如GMP、FS 209E)。以下是详细分类及对应应用场景:
ISO等级 | ≥0.1μm粒子数/m³ | ≥0.2μm粒子数/m³ | ≥0.3μm粒子数/m³ | ≥0.5μm粒子数/m³ | ≥1μm粒子数/m³ | ≥5μm粒子数/m³ | 典型应用 |
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ISO 1 | 10 | 2 | - | - | - | - | 半导体纳米级制造 |
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | - | - | 光刻机环境 |
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | - | 芯片封装 |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | - | 精密光学组件 |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | 无菌注射剂灌装(GMP A级) |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | 手术室、IVD试剂生产 |
ISO 7 | - | - | - | 352,000 | 83,200 | 2,930 | 制药口服液车间(GMP C级) |
ISO 8 | - | - | - | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | 食品包装(GMP D级) |
ISO 9 | - | - | - | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 普通工业环境(非控) |
等级 | ≥0.1μm/ft³ | ≥0.2μm/ft³ | ≥0.3μm/ft³ | ≥0.5μm/ft³ | ≥5μm/ft³ | 对应ISO等级 |
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Class 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | - | ISO 3 |
Class 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | - | ISO 4 |
Class 100 | 3,500 | 750 | 300 | 100 | - | ISO 5 |
Class 1,000 | 35,000 | 7,500 | 3,000 | 1,000 | 7 | ISO 6 |
Class 10,000 | 350,000 | 75,000 | 30,000 | 10,000 | 70 | ISO 7 |
Class 100,000 | 3,500,000 | 750,000 | 300,000 | 100,000 | 700 | ISO 8 |
GMP等级 | 动态粒子标准(≥0.5μm/m³) | 微生物限值 | 对应ISO等级 | 应用场景 |
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A级 | ≤3,520 | 沉降菌≤1 CFU/4小时 | ISO 5 | 无菌灌装、手术台 |
B级 | ≤3,520 | 沉降菌≤5 CFU/4小时 | ISO 5 | A级区背景环境 |
C级 | ≤352,000 | 沉降菌≤50 CFU/4小时 | ISO 7 | 非无菌制剂配液 |
D级 | ≤3,520,000 | 沉降菌≤100 CFU/4小时 | ISO 8 | 原料预处理、包装 |
粒子尺寸侧重
电子行业:关注0.1~0.3μm粒子(芯片制程)。
制药行业:侧重0.5~5μm粒子及微生物控制。
动态与静态标准
静态测试:空载状态下检测(验收时)。
动态测试:模拟实际操作(GMP强制要求)。
气流方式影响
单向流(层流):ISO 1-5级通常需垂直/水平层流。
非单向流(乱流):ISO 6-8级可通过高效送风+稀释实现。
ISO 1-3级:半导体光刻、量子计算实验室。
ISO 5级(A级):疫苗灌装、心脏支架生产。
ISO 7-8级:医疗器械包装、化妆品无菌车间。
选择洁净等级需综合 工艺需求、成本、运维复杂度,建议通过风险评估(如FMEA)确定最低合规级别。